用于等离子体、CVD 和加热系统的工业微波发生器

2450MHz磁控微波发生器功率范围为6kW至15kW,具有可调输出、RS485控制、水冷功能以及项目化集成支持。.

 

产品选择

6kW 微波发电机

频率:2450MHz 输出功率:6 ± 1kW 界面: RS485 Modbus RTU 冷却方式:水冷 应用领域:等离子体、CVD、加热

10KW 微波发生器

频率:2450MHz 输出功率:10 ± 1kW 界面: RS485 Modbus RTU 冷却方式:水冷 应用领域:等离子体、CVD、加热

15kW 微波发电机

频率:2450MHz 输出功率:15 ± 1kW 界面: RS485 Modbus RTU 冷却方式:水冷 应用领域:等离子体、CVD、加热

25KW 微波发生器

频率:915MHz 输出功率:15 ± 2kW 界面: RS485 Modbus RTU 冷却方式:水冷 应用领域:大型 V加热器、材料加工

75kW 微波发生器

频率:915MHz 输出功率:75 ± 3kW 界面: RS485 Modbus RTU 冷却方式:水冷 应用领域:大型 V加热器、工业加工

100kW微波发生器

频率:915MHz 输出功率:100 ± 5kW 界面: RS485 Modbus RTU 冷却方式:水冷 应用领域:大型 V加热器、工业加工

2450MHz vs
915MHz

2450MHz — 标准范围:6kW–15kW
  • 更紧凑的微波发生器和系统设计
  • 适用于等离子体、CVD和精密材料加工
  • 常用于实验室和小型至中型工业系统
  • 非常适合与等离子体发生器和工艺室相联接
  • SDACME 的功率范围:6kW、10kW 和 15kW
915MHz — 高功率范围:25kW–100kW
  • 更适合大型负载和高功率工业系统。
  • 适用于散装加热、干燥和大型材料加工
  • 适用于某些材料和工艺的更深渗透深度
  • 需要更大的波导、应用器和冷却装置配置。
  • SDACME 的功率范围:25kW、75kW 和 100kW

典型
申请

微波炉
等离子体系统

MPCVD和
CVD设备

工业
加热

材料干燥
以及加工

实验室
微波系统

定制设备
融合

现有设备的更换
微波源

典型系统组件

  • 微波发生器
  • 隔离器或循环器
  • 定向耦合器
  • 水载荷/虚实载荷
  • 波导组件
  • 手动或自动调谐单元
  • 控制和连接电缆
  • 系统图纸和用户手册

实际的组件组合取决于微波频率、功率水平、工艺室、负载特性以及项目的集成要求。.

可选的或基于项目的组件

  • 915MHz系统的天线或天线组
  • 自动匹配或调谐系统
  • 定向耦合器和功率监控
  • PLC或触摸屏集成
  • 定制型波导组件
  • 橱柜或架子一体化
  • 远程监控和以太网通信
  • 专用连接器或机械适配器
  • 外部水冷器

可选的设备根据应用需求、选定的发电机型号、现有设备以及系统集成所需的程度进行选择。.

客户提供的条件

  • 输入电源
    所需电压、频率、相位和可用功率必须与所选微波发生器相匹配。.
  • 外部冷却水供应
    除非配备水冷器,否则必须提供合适的水温、流量、压力和水质。.
  • 工艺室或应用器
    在确认波导和匹配设计之前,需要提供反应堆、工艺室、应用器或负载信息。.
  • 外部PLC或控制系统
    如果需要系统级控制,客户应提供通信协议、I/O列表和控制逻辑。.
  • 安装空间和 V通风
    安装现场必须具备足够的通气、接地和维护通道。.
  • 安全性和互锁条件
    门锁、紧急停止回路和其他外部安全逻辑必须与整个系统协调一致。.

客户提供的物品可能因项目而异。在最终配置和报价确认之前,应先查看所有接口和现场条件。.

控制和数据功能

7 英寸或 10 英寸的人机界面/触摸屏控制
输出功率监测
RS485 通信
反射功率监测
Modbus RTU 传输模式
水流监测
可调节输出功率
水温监测
故障记录与历史

安全与保护

弧形检测
保护
外部锁紧装置
界面
阳极过电压
以及过电流
电源
过温
水流
保护
水温
保护
故障锁定
以及报警功能
紧急停止
界面

可用的控制、监测和保护功能可能因微波发生器型号和最终项目配置而有所不同。.

冷却要求

SDACME 的工业微波发生器采用外部水冷系统,以保持稳定的运行状态,并保护关键的电源和微波元件。.

  • 推荐的进水温度: 15–35°C
  • 参考水流量: 请参阅模型表格
  • 推荐的水压: 0.2–0.4 MPa
  • 水质: 清洁、导电性低且无腐蚀性水
  • 防止杂质、沉淀物和颗粒进入冷却回路
  • 供电回路、微波头、循环水回路以及水泵的水冷回路可能需要单独的冷却回路。
型号额定功率参考最小值
水流
6千瓦6千瓦≥8 L/min
10千瓦10千瓦≥12 L/min
15千瓦15千瓦≥16 L/min
25千瓦25千瓦≥25 L/min
75千瓦75千瓦≥60升/分钟
100千瓦100千瓦≥80 L/min

上述数值仅供参考,用于初步系统规划。最终的水流量、压力、冷却回路设计和冷水机组容量必须根据选定的型号、组件组合、环境条件和运行负荷进行确认。.

更换和 OEM 集成支持

1

提供现有
模型信息

请提供当前品牌、型号、铭牌、照片以及可提供的图纸。.

2

确认频率
以及输出功率

确认 2450MHz 或 915MHz,功率等级和工作模式。.

3

确认输入功率
以及 V电压

提供输入电压、频率、相位以及可用功率容量。.

4

确认接口和
控制系统

评审波导、机械接口、RS485、Modbus 和 I/O 的要求。.

5

确认冷却
方法

确认冷却水、冷水机容量、流量、温度和压力。.

6

集成,系统
检查和测试

确认技术解决方案,完成集成并进行功能测试。.

在评估了现有设备和项目需求后,SDACME 将提供兼容的替换建议或定制的 OEM 集成方案。最终的兼容性必须通过技术评估得到确认。.

真正的测试和操作

6kW 发电机运行测试

使用外部水冷系统实现稳定运行。.

10kW 发电机性能测试

CVD系统应用与输出验证。.

15kW 发电机长期测试

连续输出测试和操作稳定性。.

25kW高功率测试

适用于大容量加热应用的 915MHz 测试。.

75kW高功率系统测试

工业加工生产线的操作和测试。.

100kW高功率运行

连续长时间的工业运行测试。.

常见问题

正确的功率水平取决于您的应用、负载或反应器、所需的加工面积、操作模式、微波接口以及现场条件。.

我们的 2450MHz 系列包括 6kW、10kW 和 15kW 型号。功率更高的 915MHz 配置(包括 25kW、75kW 和 100kW 型号)则根据具体的工业系统进行评估。.

我们可以根据所需功率提供初步报价。然而,最终配置应在审查申请、反应堆或负载、波导接口、控制要求以及冷却条件后确认。.

单靠微波功率无法保证加工速度、温度、生产能力、钻石生长速率或其他工艺结果。.

2450MHz微波发生器通常用于更紧凑的等离子体、CVD、MPCVD、实验室和中功率工业系统。SDACME的2450MHz系列主要包括带有BJ26微波输出的6kW、10kW和15kW型号。.

915MHz通常用于功率更高的系统和更大的工业负载。SDACME可以根据项目情况评估25kW、75kW和100kW的配置。例如,75kW系统采用BJ9微波输出,其冷却能力比更小的2450MHz型号要高得多。.

这两个频率并非可以直接互换。选择时必须根据所需功率、负载尺寸、反应器或应用器设计以及工艺要求进行。.

典型的微波发生器系统可能包括:

  • 高频微波电源
  • 微波头
  • 磁控管
  • 激发腔
  • 本地控制系统
  • RS485 通信接口
  • 连接电缆
  • 微波循环器或隔离器
  • 反射功率负载或水压负载

根据项目的不同,可选配的组件可能包括波导、三根支架调谐器、反射功率监测、定制控制接口、冷却设备和安装附件。.

外部供电、冷却水或冷水机、反应器、应用设备、安装空间和现场设施通常需要分别确认。最终报价和技术协议中将列出确切的标准配置、可选配置和客户提供的设备。.

是的。SDACME可以评估更换项目,但仅从功率等级来看,无法确认其直接兼容性。.

如需进行技术评估,请提供以下信息:

  • 现有品牌和型号
  • 设备铭牌
  • 微波频率和输出功率
  • 输入电压和频率
  • 波导类型和尺寸
  • 安装尺寸
  • 冷却方式
  • 控制信号
  • 通信协议
  • 反射功率需求
  • 电气图纸
  • 现有微波源和系统的照片

可能需要更换适配器组件、更改接线方式、修改控制系统或进行机械改装。最终的兼容性将在工程评估后确认。.

经确认的 6 kW、10 kW 和 15 kW 微波发生器支持本地触摸屏控制和远程 RS485 通信。.

根据所选的型号,控制系统可以提供以下功能:

  • 微波预热和启动/停止控制
  • 输出功率设置
  • 输出功率监测
  • 反射功率监测
  • 阳极电压和电流监测
  • 水流和温度监测
  • 运行状态反馈
  • 故障和报警反馈
  • 历史数据和故障记录存储
  • 适用于特定型号的 USB 数据导出

已确认型号(包括 10kW 和 15kW 系统)均支持标准 Modbus RTU 通讯。每个项目的最终通信协议、寄存器列表、命令和反馈信号都将得到确认。.

磁控微波发生器的外部水冷是必不可少的。所需流量、水温、压力以及冷却回路的数量取决于型号和系统配置。.

参考:

  • 6千瓦的发电机模块需要至少8升/分钟的冷却水流量,且入口水温在0–40°C之间。.
  • 10kW 发电机模块需要至少 8L/min 的水流量,且水温在 0–40°C 之间。.
  • 15kW 系统采用独立冷却回路。微波电源要求至少 8L/min 的流量,而微波头/循环泵和水载电路各至少需要 15L/min 的流量。指定的水入口温度为 0–35°C。.
  • 75kW 的系统需要为动力柜、微波头和水泵装置分别配备冷却系统。其指定流量要求分别为 25L/min、35L/min 和 100L/min,水温在 10–30°C,压力在 0.4–0.6MPa。.

25kW 和 100kW 系统所需的制冷需求将根据最终配置进行确认。除非报价中明确包含冷水机组,否则外部冷却系统通常由客户自行准备。.

保护功能因型号和项目配置而异。已确认的功能可能包括:

  • 反射功率保护
  • 电线电流过低和过高的保护
  • 阳极过电压和过电流保护
  • 磁控管过温保护
  • 供电过温保护
  • 弧形保护或点火保护
  • 适用于某些型号的波导弧保护
  • 水流保护
  • 水温保护
  • 适用于相应型号的磁场过流保护
  • 故障代码显示和故障记录存储
  • 远程报警反馈

当反射功率或其他受保护参数超过配置限值时,系统可能会自动停止微波输出并报告故障。确切的保护逻辑和关闭操作将在技术协议中确认。.

欲获得初步报价,请提供至少以下信息:

  • 应用
  • 所需微波功率
  • 已知频率
  • 数量
  • 目的地国家

为了获得确定的技术建议,我们还可能需要:

  • 负载、反应器或喷嘴信息
  • 输入电压和频率
  • 持续性或其他运行要求
  • 波导或微波输出接口
  • 本地和远程控制要求
  • 通信协议
  • 冷却水或冷冻机运行条件
  • 安装尺寸
  • 所需供应范围
  • 项目时间表

对于更换项目,请同时提供现有品牌和型号、铭牌、故障描述、接口图纸和系统照片。如果缺少重要技术信息,SDACME只能提供初步的参考配置,而非最终的确认方案。.

技术咨询与请求表
请告诉我们您的应用需求和技术要求。我们的工程团队将审核您的请求,并提供合适的配置和报价。.
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