MPCVD 机器是什么？
MPCVD 机器使用微波能量来产生 并在受控反应室中维持等离子体状态 用于化学气相沉积。.
完整的 MPCVD 系统集成了一台微波源， 反应室、真空系统、气体输送系统 质量流量控制、工艺监控、水冷 将PLC/HMI控制与安全功能集成一体 统一的平台。.
微波发生器是 MPCVD 的一个子系统。 机器。钻石的生长也需要反应。 真空、气体输送、冷却、监控、控制 以及安全系统要协同工作。.
集成MPCVD系统
核心子系统是在选定的项目配置下进行协调的。.
- 真空
- 气体控制
- 等离子体
- 保证金
- 监控
申请
MPCVD 系统可以针对不同的钻石生长和先进材料应用进行配置。.
宝石级
钻石
用于珠宝首饰的高品质钻石生长、研究和控制性晶体开发。.
工业
钻石
用于切割工具、热管理和先进工业应用的钻石材料。.
研究/
钻石电影
薄膜开发、半导体研究以及先进材料研究。.
需要帮助选择 MPCVD 系统吗？
请提交您的申请、种子或基质尺寸、预计装载量、项目阶段和现场条件信息。我们的团队将利用这些信息评估 6kW、10kW 或 15kW 的启动配置是否更适合您的项目。.
- 应用
- 种子/培养基的大小
- 预计载荷
- 网站实用工具
- 所需供应范围
模型对比
| 型号 | MPCVD-6K | MPCVD-10K | MPCVD-15K |
|---|---|---|---|
| 微波功率（最大） | 6 千瓦 | 10 千瓦 | 15 千瓦 |
| 工作频率 | 2.45 GHz（±50 MHz） | 2.45 GHz（±50 MHz） | 2.45 GHz（±50 MHz） |
| 腔径 | Φ900毫米 | Φ950毫米 | Φ950毫米 |
| 基材尺寸（最大） | Φ150毫米/6英寸 | Φ200毫米/ 8英寸 | Φ250毫米/10英寸 |
| 典型生长温度 | 700 – 1200 ℃ | 700 – 1200 ℃ | 700 – 1200 ℃ |
| Vacuum 级别（基本级别） | ≤1×10⁻⁵ Pa | ≤1×10⁻⁵ Pa | ≤1×10⁻⁵ Pa |
| 气道 | 8 个通道 | 10 个频道 | 12 个频道 |
| 冷却方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 |
| 电源 | 3Φ 380–440V AC 50/60 Hz | 3Φ 380–440V AC 50/60 Hz | 3Φ 380–440V AC 50/60 Hz |
| 系统占用空间（W×D×H） | ≈ 2.5×1.8×2.3 米 | ≈ 2.8 × 2.0 × 2.4 米 | ≈ 2.8 × 2.2 × 2.5 米 |
*规格如有变动，恕不另行通知。.
系统组成
微波源
用于生成等离子体的稳定微波电源。.
反应室
优化了腔室设计，实现稳定的等离子体和温度控制。.
Vacuum 系统
高效真空泵系统，确保工艺条件清洁稳定。.
天然气输送系统
MFC控制的多气体输送可实现重复性操作。.
冷却系统
采用闭环冷却系统，实现精准温度控制。.
PLC/HMI控制
带有监控和数据记录功能的工业控制系统。.
安全锁
具备安全监控功能的多级保护功能。.
标准配置
- MPCVD主室
- 微波电源
- Vacuum 系统
- 气体输送系统（MFC）
- 水冷系统
可选项目
- 热丝辅助系统
- 现场光学测温仪
- 自动压力控制（APC）
- 数据记录接口
- 定制的腔室和固定装置
客户准备的条件
- 电源：3 Φ 380–440V AC
- 压缩空气：0.6–0.8 MPa
- 冷却水供应
- 排气装置/除污器（如有需要）
- 安装空间与基础
工艺要求/场地要求
环境温度
15 – 30 ℃
相对湿度
≤ 70%
无冷凝
地板载荷
≥600 kg/m²
清洁度
等级 100,000
或者更好
安装空间
请参阅布局
绘画
公用设施连接
电力、水,
气体、空气、废气
V理念与图像证据
FAT、安装、培训与支持
工厂验收测试（FAT）
在发货前对整个系统进行测试和性能验证。.
安装与调试
由经验丰富的工程师提供现场安装和调试支持。.
操作员培训
操作、维护、安全和日常程序方面的培训。.
售后服务
远程技术支持、故障排除指导和备件供应。.
常见问题
这是否只适用于一台 MPCVD 机器，还是整个生产线？
基价报价应明确说明MPCVD系统的范围。种子材料、洁净室规划、切割/抛光设备、外部辅助设备、安装和工艺支持等，将根据项目分别确认。.
我应该选择哪种型号：6kW、10kW还是15kW？
该决定取决于应用、种子或基质的大小、加工区域、所需操作窗口、场地电力以及项目目标。请提供这些详细信息，以便获得工程建议。.
钻石籽是否包含在内？
种子或初级样本可以作为项目选择进行讨论。在报价前必须确认其尺寸、等级、数量和预期用途。
需要哪些工艺气体？
MPCVD 钻石加工设备通常使用氢气和甲烷，根据工艺要求配置氧气、氮气或其他气体。对于最终系统，气体类型、范围、纯度以及当地供应情况均须确认。.
系统是否可以依靠太阳能运行？
该设备需要稳定的三相交流电源，且容量充足。只有通过设计合理的电网、逆变器和储能解决方案，才能实现太阳能发电。.
您提供安装和培训服务吗？
根据最终的项目范围，可以提供安装指导、现场调试、操作员培训、工艺支持和远程服务等服务。.
我可以在发货前检查机器吗？
如果在技术提案和验收计划中包含工厂测试、视频检验、远程验收和样品检验，则可以安排这些工作。.
