10KW 微波等离子设备
10 KW微波等离子体设备可产生稳定的高能等离子体，具有精确的功率控制和高效率。它是材料加工、表面处理、气体分解和科学研究的理想选择，可提供可靠的连续运行，并具有先进的保护和监控功能。.
产品描述
| ACME MW1070 MPCVD 设备 | ||
| 真空 | 真空测量 | 压阻计 0.1-100kpa 电容计 0-1000Pa |
| 工作压力范围 | 4-28Kpa | |
| 真空泄漏率 | ≤ 5 * 10-9Pa.M3/S （He 泄漏检测） | |
| 压力控制 | 自动控制 | |
| 空腔材料 | 铝合金激励室、石英真空室 | |
| 观察窗 | 直径为 10 毫米的测温孔和多孔观测窗 | |
| 冷却模式 | 冷却模式 | 水冷+腔体空气冷却 |
| 样品台大小 | 钼级 Φ 70mm，均匀面积 Φ 50mm | |
| 温度测量 | 红外线温度计，量程 300-1400 ℃ | |
| 冷却水流量 | >50 升/分钟 | |
| 冷却水温度 | 20-22℃ | |
| 冷却水接口 | 1 英寸外导线接口 | |
| 操作系统 | 操作系统 | PLC 控制，15 英寸触摸屏控制 |
| 流程菜单 | 10 个流程菜单，每个菜单 25 行 | |
| 微波和电源 | 微波频率 | 2.45±0.1GHz |
| 输出功率 | 1.5-7.5 KW（配备 10 千瓦家用微波电源） | |
| 输入电力 | 380 Ac/50Hz，三相五线（3 * 10+2 * 6 电源线），>15Kw | |
| 微波泄漏率 | 距离设备 5 厘米处的微波泄漏率 ≤ 5Mw/cm2 | |
| 工艺气体 | 流量计和接口 | H2 (1000SCCM) CH4 (50SCCM) N2 (10SCCM) O2 (10SCCM) 1/4 “VCR 内螺纹压缩空气 8mm Pu 管快速插头 |
| 流量计可通过软件更改气体类型 | ||
| 供气压力 | 0.3-0.35MPa | |
| 压缩空气压力 | 0.5-0.6MPa | |
| 真空泵 | 旋片真空泵 | 油泵 |
| 抽水速度 | 4L/S | |
| 电源 | 交流 380 V（±10%） | |
| 界面 | 抽气 KF25、排气 KF25 | |
| 运行环境 | 环境温度和湿度 | 室温低于 26 ℃，湿度低于 40% |
| 设备的整体尺寸 | 尺寸 | 1250(L)×800(W)×2100(H)mm |
| 设备外观 | ||
| 设备验收条件： | 1.设备安装：设备安装完成后，甲乙双方应进行现场调试，乙方技术人员应对甲方负责人进行设备操作、安全、维护培训。. | |
| 2.系统测试：系统能正常启动和运行，分离的火球稳定不跳动。. | ||
| 3.微波泄漏：微波泄漏小于 5mW/cm2（微波源的输出功率大于 80%，距离设备 10 厘米远） | ||
